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ゲートバルブ HVA製 ICF114 & ICF86 & ICF70
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アングルバルブ VAT製 型式26328-KA01-[M230411A03]
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ゲートバルブ VAT製 ICF114-[M230411A23]
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ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]
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ヘリウムリークディテクター アネルバ製（アルカテル）ASM110 TURBO CL-[M211130A06]
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ヘリウムリークディテクター 島津製作所 MSE-3200R-[M211218A01]
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イオンスパッタ装置 真空デバイス製 MSP-1S-[M221221A05]
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冷却水循環装置（空冷インバーターチラー）EYELA製（東京理化器械）CAE-2000S
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引張強度試験機（デジタルフォースゲージ）SHINPOシンポ製 FGN-5B（FOS-50VB-L）
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超音波溶着装置（超音波ウェルダー）精電舎電子工業製 型式ΣP-30S-[M220303A10]
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窒素ジェネレーター（N2発生装置）日本サーマル製 JAN3-08D-MS-[M221201A10]
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液体窒素自動供給装置（窒素精製装置）JEOL製（日本電子）NS-200-[M221220A12]