ホットプレート

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年10月
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