バイオシェイカー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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