プラズマクリーナー RIE PE
反応性イオンエッチング プラズマエッチング
メーカー：samco サムコ 型式：PC-300
⌀8インチウエハのアッシング等…
プラズマクリーナは、クリーニングが必要な対象物表面にプラズマを吹き付けます。この時、対象物表面に存在する除去を行いたい物質とプラズマが化学反応を起こし、別の物質へ変化去せることでクリーニングを行います。
特に半導体関連ではウエハーの除去やレジスト残渣除去などに使われ、なくてはならない装置となっています。
また、ICの組み立てでは、ワイヤーボンディングのクリーニングや強度向上のために使用されています。
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キーワード（メーカー）真空デバイス・パナソニック・ハイソル・ノードソン・ハイソル・テクノアルファ・森エンジニアリング
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置
当社は中古機在庫品を使用した受託事業を開始しました。（分析機器、加工機、製造装置、各種機械設備）
株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
不要になった産業機器を中古機として有効利用しましょう
当社は産業装置のリユースでSDGｓに貢献します。
遊休設備はリユースのみならず、部品取りを介して新たな装置の開発にも役立てられます。
真空装置のご紹介
- プラズマクリーナー サムコ PC-300
- スパッタ装置 – オートファインコーター 日本電子製（JOEL）JFC-1600
- イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL – 日本電子 IB-09020CP
- 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050
- スパッタ装置（3元多層式） アネルバ L-250S-FH
- イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M220930A02]
- イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL – 日本電子 SM-09010
- オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL) JFC-1300
- カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
- マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622A04]
- イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製 E-1020-[M221221A04]
- イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500
- クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-701-AT
- 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
- 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島津製作所 IP-400A
- 真空蒸着装置 アルバック VPC-410
- 蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – 日本電子 JEC-560
- プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M221221A07]
- ツインコーター JEOL製（日本電子）JEC-550 – [M220930A01]
- 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定子・接続ケーブル 一式
