四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

四重極質量分析計　残留ガス分析計　RGA　Qマス　Q-MAS　
メーカー：Pfeiffer Vacuum（ファイファー）　型式：QME200
質量範囲：1-100 amu　残留ガス分析　リークチェック

Qマスは、試料中の分子をイオン化し、生じたイオンの検出・質量電荷比 (m/z) の同定を行う装置です。高真空・超高真空環境の残留ガス分析やリーク検出といった解析で発揮します。試料導入部、イオン源、質量分離部、検出器などから構成されています。本機は、主に真空チャンバー内の残留ガス分析やリークチェックに使用され、質量範囲は1-100 amu 程度まで対応しており、放出ガス量の計測などにも用いられます。

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キーワード（メーカー）：アネルバ・日本電子・インフィコン・アルバック・HORIBA・島津製作所・伯東・Pfeiffer・ファイファー
キーワード（品名）：スパッタ装置・真空装置・質量分析・磁気共鳴装置・QMS・RGA・真空応用装置・X線分析装置

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