QMS

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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