QMS

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
2026年6月
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