ガス分析計

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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