真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

真空排気システム　DP 油拡散ポンプ
メーカー：ULVAC（アルバック）　型式：VPC-050
到達圧力：7.0×10^-4 Pa　排気速度：50 L/sec
粗びきポンプ容量(RP)：20 L/min

真空排気装置とは、密閉された空間（チャンバーなど）から気体を吸い出し、真空状態を作り出し維持する装置で、複数の真空ポンプや関連機器を組み合わせて構成され、目的の真空度や用途に応じて、半導体、食品包装、研究開発など幅広い分野で利用されています。真空ポンプ・真空チャンバー・真空計・制御回路・配管などが組み合わされ、システムとして機能します。 

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キーワード（メーカー）：アルバック・大阪真空・佐藤真空・エドワーズ・大亜真空・アリオス・吉川製作所
キーワード（品名）：ドライポンプ・油拡散ポンプ・スクロールポンプ・クライオポンプ・ロータリーポンプ

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