株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…