FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW
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メーカー：SII 型式：SMI9200IW
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集束イオンビーム装置は、きわめて細く集束したイオンビームを試料表面で走査することにより、発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察したり、試料表面を加工したりすることのできる装置です。
