2021年 5月

  1. 真空蒸着装置、アルバック、VPC-410A

    真空蒸着装置　アルバック製
    型式：VPC-410A （M200312A02）
  2. 保護膜コーティング装置、PIC、SCPICmini

    保護膜コーティング装置　PIC製
    型式：SCPICmini （M200305A01）
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製
    型式：E-1030（M220408A04）
  4. 真空デシケーター、日本電子（JEOL）、EM-DSC10E

    真空デシケーター　日本電子製（JEOL）
    型式：EM-DSC10E （M191213A05）
  5. イオンスパッタ、日本電子（JEOL）、JFC-1100E

    イオンスパッタ装置　日本電子製（JEOL）
    型式：JFC-1100E （M190926A05）
  6. 原子間力顕微鏡（AFM）、di、Dimension8300

    原子間力顕微鏡（AFM）Digital Instruments製
    型式：Dimension8300 （M190922A04）
  7. 攪拌・脱泡装置　マゼルスター、クラボウ、KK-250S

    攪拌脱泡装置　マゼルスター　クラボウ製
    型式：KK-250S （M180906A07）
  8. スピンコーター、PIC

    スピンコーター　PIC製
    型式：SEMIPIC-33 （M200404A05）
  9. スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）、日本電子（JEOL）、JUC-5000

    スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
    型式：JUC-5000 （M190810A05）
  10. ウエハー剥離装置

    ウエハー剥離装置　SemiconductorEquipmento製
    型番：4800 （M190211A02）
  11. スクリーン印刷機、ミナミ

    スクリーン印刷機　ミナミ製
    型式：MK-MarK Ⅱ （M210326A01）
  12. レーザービーム装置、Spectra-Physics、MaiTai

    レーザービーム装置　Spectra-Physics製
    型式：Mai-Tai （M200404A04）

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