2021年 5月

  1. クリーンブース_PIC_PI-3000R2

    クリーンブース　PIC製
    型式；PI-3000R2 （200222A03）
  2. ルクスハイテスタ_HIOKI_3422

    ルクスハイテスタ　HIOKI製
    型式：3422 （M181122A20）
  3. ボルトメーター_菊水電子工業

    ボルトメーター　菊水電子製
    型式：TOS8650 （M181122A33）
  4. 電子負荷装置_菊水電子工業_PLZ150W

    電子負荷装置　菊水電子製
    型式：PLZ150W （M180906A10）
  5. 超音波洗浄機_東京超音波_IUC-5012

    超音波洗浄装置　東京超音波製
    型式：IUC-5012（M190326A06）
  6. 超音波洗浄機_EYELA（東京理化機械）_AU-100CR

    超音波ピペット洗浄機　EYELA製（東京理化機械） AU-100CR -「M200408A07」
  7. 超音波発振器・カイジョー・4341i

    超音波発振器　カイジョー製
    型式：4341i（M190211A01）
  8. 電子線マイクロアナライザー（EPMA）

    電子線マイクロアナライザー（EPMA）島津製
    型式：EPMA-1600 （M210325A01）
  9. FIB装置（集束イオンビーム装置）・SII・SMI9200IW

    FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製
    型式：SMI9200IW （M200131A01）
  10. スクロールポンプ

    スクロールポンプ　エドワーズ製
    型式：ESDP12 （M210114A18）
  11. ターボ分子ポンプ

    ターボ分子ポンプ　セイコー精機製
    型式：STP-251S （M200410A02）
  12. ヘリウムリークディテクター

    ヘリウムリークディテクター　ファイファー製
    型式：HLT570 （M210416A01）
  13. カーボンコーター

    カーボンコーター　真空デバイス製
    型式：VC-100 （M210408A03）
  14. プラズマCVD装置

    プラズマCVD装置　サムコ製
    型式：PD-220 （M210320A10）
  15. 真空蒸着装置

    真空蒸着装置　JEOL製（日本電子）
    型式：JEE-420T （M201126A01）
  16. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製
    型式：SVC-720 （M200316A04）
  17. RF電源

    RF電源（プラズマ電源）アステック製
    型式：ARF-1053 （M210320A06）
  18. EB電源

    EB電源（電子ビーム・電子銃電源）日新技研製
    型式：NEB-10W （M210108A25）
  19. 膜厚コントローラー

    膜厚コントローラー（Deposition Controller）
    インフィコン製　型式：IC/5 （M210108A20）
  20. ヘリウムコンプレッサー

    クライオコンプレッサー　鈴木商館製
    型式：C300K （M201116A01）

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