株式会社未来産業技術研究所
メーカー:島津 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2