株式会社未来産業技術研究所
メーカー:SII 型式:
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…