株式会社未来産業技術研究所
メーカー:SII 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…