メーカー：コクサン（国産遠心機） 型式：H-840SA半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置で遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
5インチキャリア×2架／回転数：1,000rpm
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キーワード（メーカー）ジャパンクリエイト・ダルトン・大宮工業・トービ・ジャステム・テクノファイン・コクサン
キーワード（品名）半導体ウェハー・半導体チップ・ダイサー・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置
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