株式会社未来産業技術研究所
メーカー:ミナミ 型式:
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP