株式会社未来産業技術研究所
メーカー:クラボウ 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…