株式会社未来産業技術研究所
メーカー:クラボウ 型式:
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…