株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J