株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250