株式会社未来産業技術研究所
メーカー:インフィコン(INFICON) 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]