分析器

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  4. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年7月
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