株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アネルバ 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]