株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アネルバ 型式:
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
恒温槽 エスペック PH-402
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL