真空蒸着装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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