真空蒸着装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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