真空蒸着装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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