真空蒸着装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年5月
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