真空蒸着装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
2026年4月
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