真空蒸着装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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