真空蒸着装置

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年12月
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