真空蒸着装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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