真空蒸着装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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