真空蒸着装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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