真空蒸着装置

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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