真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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