真空蒸着装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
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