真空蒸着装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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