真空蒸着装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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