真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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