真空蒸着装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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