真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2025年12月
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