真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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