真空蒸着装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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