真空蒸着装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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