真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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