真空蒸着装置

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
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