真空蒸着装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年1月
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