真空蒸着装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
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