真空蒸着装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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