真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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