真空蒸着装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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