真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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