真空蒸着装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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