真空蒸着装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031