真空蒸着装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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