真空蒸着装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
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