真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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