真空蒸着装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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