真空蒸着装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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