真空蒸着装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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