真空蒸着装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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