真空蒸着装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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