真空蒸着装置

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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