真空蒸着装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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