真空蒸着装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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