真空蒸着装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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