真空蒸着装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年12月
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