真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
2026年6月
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