真空蒸着装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2025年12月
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