真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年1月
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