真空蒸着装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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