真空蒸着装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
2026年5月
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