真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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