真空蒸着装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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