真空蒸着装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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