真空蒸着装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
2026年6月
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