真空蒸着装置

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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