真空蒸着装置

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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