真空蒸着装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年6月
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