真空蒸着装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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