真空蒸着装置

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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