真空蒸着装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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