真空蒸着装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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