真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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