真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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