真空蒸着装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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