真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年5月
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