真空蒸着装置

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    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

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    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  10. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

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  3. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

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    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

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