真空蒸着装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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