真空蒸着装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ダイサー　ディスコ　DAD522

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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