真空蒸着装置

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. RF電源　RFPP　RF20S

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年5月
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