真空蒸着装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
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