真空蒸着装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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