真空蒸着装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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