真空蒸着装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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