真空蒸着装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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