真空蒸着装置

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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