真空蒸着装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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