真空蒸着装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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