真空蒸着装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年4月
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