真空蒸着装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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