真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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