真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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