真空蒸着装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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