真空蒸着装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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