真空蒸着装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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