真空蒸着装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  7. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
2025年4月
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