真空蒸着装置

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

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  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

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  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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