真空蒸着装置

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  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

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  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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