真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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