真空蒸着装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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