真空蒸着装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年6月
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