真空蒸着装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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