真空蒸着装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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