真空蒸着装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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