真空蒸着装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年6月
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