真空蒸着装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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