真空蒸着装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
2026年5月
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