真空蒸着装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
2026年5月
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