真空蒸着装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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