真空蒸着装置

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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