膜厚測定装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年1月
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