膜厚測定装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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