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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC(オリエンテック)STA-1150-[M231120A20]
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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ピラニー真空計 アルバック製 IS02-[M240200A03]
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ウェーブフォームモニター テクトロニクス製 1730 [M181122A02]
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超音波洗浄機 ブランソニック製(ヤマト科学)8510J-DTH [M240209A15]
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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製(東京理化器械)CA-2600-[M220318A11]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 SC-701
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チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化機械)
型式:CA-1115 (M200408A04) -
多関節産業ロボット(6軸)三菱電機製 型式RV-12SDC-S300 [M220528A15]
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 200iD/7L [M230906A01]