膜厚測定装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年10月
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