膜厚測定装置

  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. RF電源　RFPP　RF20S

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年7月
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