膜厚測定装置

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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