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デジタルマイクロスコープ キーエンス製
型式:VHX-100F (M210108A17) -
質量ガス分析計 インフィコン製
型式:TSPTT200 (M200714A35) -
粗さ測定器(表面粗さ測定)東京精密製
型式:SURFCOM1400D (M201105A01) -
走査型電子顕微鏡(SEM)島津製
型式:SS-550 (M210409A01) -
膜厚測定装置 SPM(走査型プローブ顕微鏡)
SII製 型式:SPA-500/SPI 3800N M200305A03 -
イオンクロマトグラフ TOA製
型式:IA-100、ICA-5450 (M210505A01) -
phメーター(水質計) 堀場ホリバ製(HORIBA)
型式:D-55 (M200714A35) -
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製
型式:UB011-5A,B MH (M210119A02) -
ウェハーローダー ニコン顕微鏡
型式NWL-641 (M210114A12) -
ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式:MS-10DX (M200919A09) -
ディスペンサーコントローラー 武蔵エンジニアリング製
型式:MS-10 (M200919A07) -
電子電圧計 ケンウッド製
型式:VT185 (M201103A04)