耐圧試験

  1. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  2. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  5. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  6. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年11月
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