耐圧試験

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年2月
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