株式会社未来産業技術研究所
メーカー:菊水電子工業 型式:
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
恒温槽 エスペック PH-402
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…