ウェハーマウンター 日東電工 M286N

ウエハマウンターは、半導体製造のダイシング工程前において、ウエハをリングフレームにダイシングテープ(粘着フィルム)を介して貼り付ける装置です。チップ飛散防止や加工時の保持を目的とし、テープの気泡無しでの貼り付けや、薄型ウエハの搬送に不可欠な装置です。主にバックグラインド(薄化)後の薄型ウエハや、シリコン、ガラス、セラミックスなど様々な材質の処理に活用されています。

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キーワード(メーカー):ディスコ・タカトリ・ダイトロン・大宮工業・ダイトロン・テクノビジョン・ヒューグルエレクトロニクス
キーワード(品名)半導体ウエハ・ガラス基板・ウェハエキスパンダー・MEMS・プリント基板・ダイサー・ダイシング

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