ウェハマウンター

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  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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