ウェハマウンター

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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