ウェハマウンター

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. RF電源　RFPP　RF20S

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  4. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年9月
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