スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

スピンコーター　レジスト塗布装置
メーカー：アクティブ　型式：ACT-220AⅡ
基板サイズ：Φ5～Φ100mm
回転速度：0～7000rpm

スピンコーターは、塗料を基材表面に均一に塗布するための装置です。基材の中心に塗料を滴下した後、加速度や回転数を制御しながら基材を回転させ、遠心力を利用して均一な厚みを有する薄膜を形成します。スピンコータは、平滑な基材にしか使用できない、大きな面積の塗布には不向きなどのデメリットがありますが、厚みの誤差が少なければ、さまざまな薄膜を形成することが可能です。半導体、太陽電池、モバイル、光学レンズ、メガネレンズ、ナノテク・バイオ、住宅機材、最先端医療関連、液晶などのディスプレイ、コーティングや薄膜を得る実験・研究・生産など、様々な用途に使用されます。高い精度を必要とする産業分野において欠かせない装置の1つであり、素材科学や表面加工技術の分野でも重要な役割を担っています。

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キーワード（メーカー）：アクティブ・ミカサ・東京応化工業・ジャパンクリエイト・ハイソル・ミクロ技研・プロダクトアイ
キーワード（品名）半導体ウエハ・レジスト塗布装置・露光装置・コーター・薄膜塗布・コーティング装置・マスクアライナー

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