ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

ロータリーポンプ　油回転式真空ポンプ
メーカー：エドワーズ（Edwards）　型式：E2M40
排気速度：37/44(㎥/ｈ)　617/733(L/min)
到達真空度：0.1Pa（ガスバラストOpen:0.7Pa）

ロータリーポンプ（油回転真空ポンプ）は、内部の回転子（ローター）と油膜の働きで気体をかき出し、大気圧から中真空まで排気する最も一般的な真空ポンプです。ロータリーポンプは操作や据え付けの手軽さから、極端な高真空までは要求されない様々な現場で活用されています。本機は、半導体デバイス製造の前工程で用いられる真空装置の粗びき用途で使用されることが多い真空ポンプです。

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キーワード（メーカー）：アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原製作所・樫山工業・佐藤真空
キーワード（品名）：スクロールポンプ・メカニカルブースターポンプ・ターボ分子ポンプ・ドライポンプ・クライオポンプ

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