電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮させます。コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。
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キーワード：精密加工機・精密計測機・半導体製造・FPD製造装置・分析機器・局所空間の精密温調・コンプレッサー・空調設備
株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
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