圧縮空気

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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