圧縮空気

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. RF電源　RFPP　RF20S
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
2026年6月
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