温調機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年10月
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