温調機

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年8月
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