温調機

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  5. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年6月
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