メーカー：PACIFIC NANOTECHNOLOGY
型式：Nano-R AFM 0-020-0000
AFM／原子間力顕微鏡
ナノプロービングとは、信頼性、性能に悪影響を与える可能性のある電気的不良を検出するために設計された高度な特性評価技術で電気的に不良箇所を正確に特定するので、透過電子顕微鏡の不良解析をより効率的に実施する上で必要になります。主に半導体ウェハー製造過程やICの設計開発において、前工程での半導体ウェハーの電気的な項目測定のために、測定装置の接触部のプローブを半導体の電極の正しい位置に接続する位置決めの装置で電気的特性の検査時に使用されます。
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キーワード（メーカー）：テクノプローブ・東京精密・ハイソル・プライムファイブ・ベクターセミコン・日立ハイテク
キーワード（品名）露光装置・マスクアライナー・プローブ顕微鏡・SPM・電子デバイス・半導体・ウェハー・ICチップ
