株式会社未来産業技術研究所

---

メーカー：ANELVAアネルバ（ALCATELアルカテル）　型式：ASM110 TURBO CL

---

検出感度：2×10^-11～1×10^-5atm・cm³/s［He]　　最大ポート圧力：10^-4mbar　　
排気系：ターボ分子ポンプ　　テストポート口：NW25KF

---

在庫状況,販売価格,詳細写真・仕様などはこちらからお問い合わせください。
メールによるお問い合わせはこちらから。

---

キーワード（メーカー）インフィコン・アネルバ・アルバック・ファイファー・アルカテル・昭和真空
キーワード（品名）リークディテクター・真空蒸着機・スパッタ装置・CVD装置・半導体

• heliumleakdetector

ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550-[M220930A01]

関連記事

1. 

   イオンスパッタ装置　日本電子製（JEOL）
   型式：JFC-1100E （M190926A05）

2. 

   ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　M26107/M25-10/MWP-A30XCA

3. 

   攪拌脱泡装置　マゼルスター　クラボウ製
   型式：KK-250S （M180906A07）

4. 

   ヘリウムリークディテクター　島津製作所　MSE-3200R-[M211218A01]

5. 

   オートファインコーター　日本電子製（JOEL）
   型式：JFC-1600

6. 

   振動計（Vibration Meter）Castle Group
   型式：GA2002

7. 

   ガス検知器　ハネウェル製（Honeywell） GasAlert MicroClip XL-「M210929A26」

8. 

   電離真空計（イオンゲージ）ulvacアルバック製 GI-M-[M220117A05]

9. 

   AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX1000 -[M221125A01]

10. 

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサイテック製
    型式：VMB-1200P-M（M190922A07）

11. 

    保護膜コーティング装置　PIC製
    型式：SCPICmini （M200305A01）

12. 

    マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622A04]

13. 

    スパッタ装置（マグネトロンスパッタ）日本電子製
    型式：JUC-5000 （M190810A05）

14. 

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製
    型式：UB011-5A,B MH (M210119A02)

15. 

    カーボンコーター　真空デバイス製
    型式：VC-100 （M210408A03）