メーカー:EBARA 荏原製 型式:A07V
排気速度:700/840L/min (50/60Hz)
到達圧力:1.1Pa
定格電流:8.4/8.6A (50/60Hz)
冷却水量:≧ 3.5 L/min
N2圧力:0.04-0.07MPa
N2流量:15-19 Pa㎥/s
ダクト熱排気圧力:-196 Pa
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キーワード(メーカー)アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原・樫山・大亜真空・アルカテル・島津
キーワード(品名)ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ・ドライポンプ・スクスロールポンプ