ドライポンプ EBARA(荏原製)A07V – [M220408A08]

排気速度:700/840L/min (50/60Hz)  
到達圧力:1.1Pa   
定格電流:8.4/8.6A (50/60Hz) 
冷却水量:≧ 3.5 L/min  
N2圧力:0.04-0.07MPa  
N2流量:15-19 Pa㎥/s  
ダクト熱排気圧力:-196 Pa   

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キーワード(メーカー)アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原・樫山・大亜真空・アルカテル・島津
キーワード(品名)ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ・ドライポンプ・スクスロールポンプ

株式会社未来産業技術研究所のSDGsに関する取り組み
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