メーカー：EBARA 荏原製 型式：A07V
排気速度：700/840L/min (50/60Hz)
到達圧力：1.1Pa
定格電流：8.4/8.6A (50/60Hz)
冷却水量：≧ 3.5 L/min
N2圧力：0.04-0.07MPa
N2流量：15-19 Pa㎥/s
ダクト熱排気圧力：-196 Pa
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キーワード（メーカー）アルバック・アネルバ・ファイファー・大阪真空・荏原・樫山・大亜真空・アルカテル・島津
キーワード（品名）ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ・イオンポンプ・クライオポンプ・ドライポンプ・スクスロールポンプ
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