株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720