スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]



スピンコータとは、平滑な基材の上に塗料を均一な厚みで塗布し薄膜を作製するものです。
特に、フォトリソグラフィ分野で重要な役割を果たしシリコン基板などの基材上に感光剤を塗布し、紫外線などの強い光を照射することで、基材表面に微細パターンを作成する技術です。半導体やディスプレイの製造において欠かせません。
光学メディアの分野でも活躍していてDVDやBlue-ray Discといった光学メディアの表面にコーティングを施す際に、均一な膜厚を確保するために利用され、レンズの調光液の塗布など、光学分野におけるさまざまな用途でスピンコータが使われいます。


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キーワード(メーカー)東京応化・TOK・共和理研・ミカサ・アクティブ・ジャパンクリエイト・ハイソル
キーワード(品名)半導体ウェハー・半導体チップ・プリント基板・ダイボンダ―・ワイヤーボンダ―・COB装置・SMT装置

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