株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アクティブ 型式:
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…