AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX10…
冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製 CA-3110 R…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式：NCP-4…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
