株式会社未来産業技術研究所
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251