株式会社未来産業技術研究所
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空乾燥機 アズワン AVO-310V