金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
多関節産業ロボット（6軸）ファナック製 型式M-10iA…
超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
高温恒温槽（イナートオーブン） ヤマト科学 DN-43…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
