株式会社未来産業技術研究所
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)