株式会社未来産業技術研究所
メーカー:HORIBA 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)