メーカー：日本マイクロニクス 型式：705B
チャックサイズ：6インチ（Φ150mm相当）
プローバーは、プローブを任意の位置に固定するための装置で、主に半導体ウェハー製造過程やICの設計開発において、前工程での半導体ウェハーの電気的な項目測定のために、測定装置の接触部のプローブを半導体の電極の正しい位置に接続する位置決めの装置です。半導体の電極部分はその面積が非常に小さいため、正確な位置に検査装置の接触部分のプローブを当てる必要があります。位置決めをする上で、非常に正確な制御性がプローバーには求められます。一般に半導体や薄膜基板、パッケージ基板などの電気的特性の検査時に使用されます。
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キーワード（メーカー）テクノプローブ・東京精密・ハイソル・プライムファイブ・ベクターセミコン・東栄科学産業
キーワード（品名）露光装置・マスクアライナー・スピンコーター・電子デバイス・半導体・薄膜・ウェハー・ICチップ
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