本機は優れた分解能で、蒸着膜厚/レートのモニタリング及び制御が可能な水晶発振式の成膜コントローラです。膜厚・成膜速度分解能により成膜速度が低い場合の制御にも対応可能でプログラム可能なデジタル入出力（各12ch）およびアナログ出力（3ch）が装備されています。
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キーワード（メーカー）：アルバック・シンクロン・オプトラン・インフィコン・アネルバ・VISTA・ASKSEMIX
キーワード（品名）：イオンゲージ・バラトロン真空ゲージ・真空蒸着機・ロータリーポンプ・スクロールポンプ・薄膜
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