株式会社未来産業技術研究所
メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110