株式会社未来産業技術研究所
メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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