株式会社未来産業技術研究所
メーカー:武蔵エンジニアリング 型式:
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
ウェハーマウンター 日東電工 M286N