株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アルバック 型式:
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インパルスノイズ試験器 ノイズ研究所-NoiseKen IN…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
プラズマクリーナー サムコ PC-300
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
RF電源 RFPP RF10S
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N