株式会社未来産業技術研究所
メーカー:アルバック 型式:
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
ヒュームフード(ドラフトチャンバー)ヤマト科学 M…
スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100
液晶重ね合わせ装置 中央精機 LCM-ST
チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A
四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー QME200
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40