半導体・電子部品装置
半導体装置、ダイサー、各種ボンダー、表面実装機、リフロー炉、露光装置、マスクアライナー
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クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 SC-708-[M23030…
メーカー：サンユー電子 型式：SC-708大型基板の全面コーティングに対応したイオンスパッタリング装置 コーティングモード/…
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プラズマ処理装置（親水化処理装置）JEOL製（日本電子）HDT-400 [M…
メーカー：日本電子（JEOL） 型式：HDT-400処理開始から完了まで全自動処理されます。 TEM（透過電子顕微鏡）やSEM（走査電…
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イオンスパッタ装置 JEOL製（サンユー電子）型式：JFC-1500-[M2…
メーカー：JEOL（サンユー電子） 型式：JFC-1500この装置は、試料表面に白金などの金属をスパッタリングする。コーティング…
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レーザーマーカー パナソニック製（panasonic）LP-410TU-[M…
メーカー：パナソニック製（Panasonic） 型式：LP-410TU印字レーザー：CO2レーザー/クラス4 レーザー製品 ガイドレーザー…
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スパッタ装置（RFスパッタ）アネルバ製（ANELVA）SPF-430H-[M…
メーカー：ANELVA（アネルバ） 型式：SPF-430H基板サイズ：小片～最大4インチウェハまで1バッチに4インチウェハ3枚まで可能…
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ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668
メーカー：SMHP機工 型式：SPB-DB668未来産業技研ではボンダーのSDGsに積極的に取り組んでいますダイボンダはICチップやLSI…
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ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式SPB-DB668…
メーカー：SMHP機工 型式：SPB-TS668未来産業技研ではMEMS装置のSDGsに積極的に取り組んでいますワイヤボンダはICチップやLS…
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AOI基板外観検査装置 inspec製（インスペック）SX1000 -[M2…
メーカー：inspec（インスペック） 型式：SX1000未来産業技研では検査機のSDGsに積極的に取り組んでいます基板AOI（外観検査…
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VUV真空キュア装置（真空紫外光硬化装置）TOSKYトスキー製 型式：UVR…
メーカー：TOSKY（トスキー） 型式：UVR-200未来産業技研ではUV照射装置のSDGsに積極的に取り組んでいますこの装置は、真空…
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ナノインプリント装置 三井電気精機製 TM-NP04-2型 -[M22122…
メーカー：三井電気精機 型式：TM-NP04-2型未来産業技研では産業機器のSDGsに積極的に取り組んでいますモールドサイズ：25×2…
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イオンミリング装置 日立製（HITACHI）E-3500 [M230325A…
メーカー：日立（HITACHI) 型式：E-3500未来産業技研ではイオンミリング装置のSDGsに積極的に取り組んでいますイオン源：ア…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）
型式：JEE-400真空蒸着装置、日本電子、JEOL
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冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry-36C-[M220718A01]]
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ドライポンプ 樫山製 NeoDry60EU-082C-[M231212A01]
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CO2インキュベーター サンヨー製 MCO-96-[M230718A…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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スピンコーター ミカサ製 MS-B100-[M240310A09]
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引張圧縮試験機 ORIENTEC（オリエンテック）STA-115…
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クリーンベンチ 昭和科学 S-1300WV-[M240209A01]
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X線分析装置 SII SEA2120L-[M230512A07]
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表面粗さ計 テイラーホブソン NewForm-[M230314A01]
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クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製（FISCHIONE） …
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DC電源 菊水電子製 型式：PAD16-1000LET （M210303…
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真空蒸着装置 日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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樹脂ジェットローダー（吸引輸送装置）松井製作所<br…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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FIB装置（集束イオンビーム装置）SII製<br>型式：SMI…
