超音波溶着機

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  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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