超音波溶着機

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年5月
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