超音波溶着機

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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