超音波溶着機

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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