超音波溶着機

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  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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