超音波溶着機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
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