マスクアライナー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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