マスクアライナー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年5月
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