マスクアライナー

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

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  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

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  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

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  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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