マスクアライナー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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