マスクアライナー

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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