ヘリウムリークディテクター

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年7月
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