ヘリウムリークディテクター

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年7月
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