ヘリウムリークディテクター

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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