ヘリウムリークディテクター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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