ヘリウムリークディテクター

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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