ヘリウムリークディテクター

  1. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  2. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  4. 恒温恒湿槽 ナガノサイエンス NST-S800

  5. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503

  8. RO純水製造装置 東洋紡エンジニアリング TRO-60A

  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製 E-1010

  10. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…

  1. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  4. ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400

  5. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  6. オゾンガスモニター APPLICS OZG-EM-010K

  7. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…

  8. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  9. ドライポンプ Kashiyama NeoDry15E

  10. 連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A

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