ヘリウムリークディテクター

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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