ヘリウムリークディテクター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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