ヘリウムリークディテクター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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