ヘリウムリークディテクター

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
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