ヘリウムリークディテクター

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年11月
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