ヘリウムリークディテクター

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  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  10. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  2. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  4. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  5. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  9. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  10. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

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