ヘリウムリークディテクター

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  6. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  7. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  8. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  9. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  10. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

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  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  3. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  4. 露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  6. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  7. イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG

  8. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  9. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  10. 遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS

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