ヘリウムリークディテクター

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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