ヘリウムリークディテクター

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年5月
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