ヘリウムリークディテクター

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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