ヘリウムリークディテクター

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2026年4月
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