ヘリウムリークディテクター

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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