ヘリウムリークディテクター

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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