ヘリウムリークディテクター

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温槽　エスペック　PH-402

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年7月
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