ヘリウムリークディテクター

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年6月
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