ヘリウムリークディテクター

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 恒温槽　エスペック　PH-402
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年7月
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