ヘリウムリークディテクター

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  4. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  5. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  7. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

  10. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  1. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B

  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  4. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  5. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  6. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  9. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

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