ヘリウムリークディテクター

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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