ヘリウムリークディテクター

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 恒温槽　エスペック　PH-402

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
2026年7月
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