ヘリウムリークディテクター

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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