ヘリウムリークディテクター

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年5月
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