ヘリウムリークディテクター

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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