ヘリウムリークディテクター

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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