ヘリウムリークディテクター

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
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