ヘリウムリークディテクター

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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