ヘリウムリークディテクター

  1. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  2. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  3. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  4. インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  9. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  10. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  1. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  2. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  5. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  8. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

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