ヘリウムリークディテクター

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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