ヘリウムリークディテクター

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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